AYS-MV(DM)直流溅射镀膜大功率开关电源 体积小、重量轻、效率高、0—1200V、1KW—500KW 简要介绍 爱因森真空溅射镀膜电源具有**高的准确性、高精确度、高稳定性等优良的电子特性,配备强大的打弧管理系统,能有效抑制靶材弧光放电, 具有较佳的负载匹配能力。该电源是专业用于真空溅射镀膜的电源设备,输出电压及电流独立 可调,恒压恒流自动转换,电源具备较其优越的抗打火短路性能。电压0—1200V,功率0—500KW. 性能特点 .多种规格,电压0—1200V,功率0—500KW之内任选,特殊规格可以定做,时间周期短。 规格型号 电压 功率 是否现货 AYS-8MV35 (DM) 800V 35KW 0—200KW现货 AYS-8MV70 (DM) 800V 70KW 0—200KW现货 AYS-8MV100 (DM) 800V 100KW 0—200KW现货 AYS-10MV35 (DM) 1000V 35KW 0—200KW现货 AYS-10MV70 (DM) 1000V 70KW 0—200KW现货 AYS-10MV100(DM) 1000V 100KW 0—200KW现货 AYS-12MV35 (DM) 1200V 35KW 0—200KW现货 AYS-12MV70 (DM) 1200V 70KW 0—200KW现货 AYS-12MV100(DM) 1200V 100KW 0—200KW现货 .输出电压可以随不同的靶材变化,智能打弧管理系统和直流电源控制打弧检测时间小于3微秒 .自动稳流功能,可在电网电压和负载大幅度变化的情况下保证电源高效稳定的工作,充分保证镀膜工艺的重复性,精确控制膜厚和减少靶材用量 .针对新靶清洗时存在的频繁打火现象,设计了抑制打火自动保护功能,既保证了靶面清洁的工艺的稳定性,又提高了靶面清洁的速度。 .具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求 技术指标(所有技术参数的更改以客户定制数据或者公司较新数据为准) 电压电流调节范围 电压5%-10%额定值---额定值连续可调,电流0-额定值连续可调(恒压恒流自动转换) 源效应 CV<0.5% CC﹤0.5% (输出为较高电压,较大电流时测量) 负载效应 CV<0.5% CC﹤0.5% (输出为较高电压,较大电流时测量) 纹波电压 CV<1% CC﹤1% (输出为较高电压,较大电流时测量) 显示方式 显示为4位半LED数码屏(依客户要求可做液晶显示屏) 本地控制 十圈精密电位器 远程控制 RS232 /RS485串行通信标准配置上位机连接,通过设定的通讯协议控制电源的各种状态 模拟控制 GPIB隔离型模拟控制,0-5V或4-20mA信号控制(选配) 保护方式 短路,过压,过流,过温 短路保护 负载打火短路保护,负载短路可以开机 交流输入电压 三相AC342-420V,50HZ 效率 效率大于0.92 温度 存储-40/85度, 工作-10/40度 湿度 10-80%(非冷凝,相当于环境温度25度) 标准与规范 GB2894-2008 安全标志及其使用规则 GB4208-2008 外壳防护等级